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          盤點半導體物流自動化AMR技術與廠商

             日期:2024-06-05     來源:飛象網    作者:angle     評論:0    
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           在當今晶圓廠中,自動化技術的飛速發展已經將生產流程推向了一個全新的高度,傳統以OHT(天車)為主的AMHS模式正在發生革新,AMR(移動機器人)以柔高效的物流模式成為先進制程場內物流的主要選擇。

          在這背后,根植于工業物流自動化場景的AMR技術正在不斷演進,從第一代的導軌式機器人,到第三代集群作業的AMR矩陣,AMR正在從硬件能持續優化的單體設備,轉變為半導體整廠智能化系統下的智能因子,邁向機器人軟硬件與整廠相關軟硬件的融合演進時代。

          第一代AMR,也可以說是移動機器人的雛形,它們主要沿著固定的機械軌道或預定路線來實現自身的定位和抓取,缺乏靈活,而且可能還需要人類操作員監督。

          盡管實現了物料的自動化運輸,但是第一代移動機器人并沒有得到大規模普及,主要原因是半導體潔凈空間的造價太昂貴,地面的面積最好是用于放置生產設備,而不是鋪設很多軌道占用寶貴的面積。

          大約在2015年左右,激光導航技術的成熟為移動機器人帶來了很大的提升。通過使用激光導航技術進行定位,第二代機器人徹底擺脫了固定軌道的物理約束,使用內置傳感器和攝像頭以及先進的軟件來識別周圍環境,并采取最有效的路線到達目的地,安全地避開障礙物和人員,無需對晶圓廠物理環節進行安裝和改造,直接可以在晶圓廠中運行。

          不過,第二代與一代AMR在整個系統和硬件層面往往是以任務為主,系統采用單進程線處理,功能較為單一,無法自主決策處理復雜的任務,機器人之間也沒有太多的交互工作。更準確地來說,第一、二代AMR更多以“自動化設備”的形式呈現。

          移動機器人真正迎來大的變革是從第二代向第三代的過程。

          隨著半導體工廠產線物流自動化需求攀升局部產線改造開始向完整工序段擴張,隨之而來的是,單個工廠內對于AMR的需求數量也增加至百級,如何在保障生產物流穩定高效的前提下實現大規模AMR的集群調度,是二代AMR亟待突破的技術掣肘。

          部分AMR廠商開始跳脫出傳統AMR硬件優化的思維,轉而以半導體整場物流綜合效率提升的全局視角,以集群化重新定義AMR。

          如果說第二代機器人突破了導航方式的物理束縛,那么第三代AMR則實現了從單機作業到集群協同的突破。從硬件上來看,大量機器人需要有資源池化的能力,具備多線程的并行處理能力。在這個資源池中,可能同時并發存在成百上千條任務。這個機器人集群的規模大約要達到100多,相比之下,在二代的時候,數量調度基本不超過20

          在第三代AMR的協同作業下,半導體生產不再僅滿足部分產線或工藝段的改造,而能夠從全廠的規劃出發,實現整場的物流自動化建設,給企業帶來效益提升。

          其實自第三代移動機器人開始商用之后,客戶更加注重的已經是生產效率,而不僅是一個自動化設備。而深度剖析“綜合物流效率”,其影響因素分布在從硬件到整廠智能化系統的全棧范圍,既包含機器人軟硬件本身,更注重于機器人軟硬件與整廠內其他相關軟硬件的融合演進。可以期待的是,AMR在未來半導體物流自動化建設中,將引發巨大的物流效率變革。

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